ICM200 / ICM300 / ICM350

ICM200 Capacitance Manometer
ICM300 Capacitance Manometer (Temperature Controlled at 45°C )
ICM350 Capacitance Manometer (Temperature Controlled at 100°C )

일반적으로 진공 Chamber에 설치되어, 실제 진공 Chamber내에
압력을 읽어내는 게이지이며, 보통 ±15VDC의 파워를 필요로하고
0~10VDC 시그널의 출력을 가지는 Capacitance Manometer는
반도체 공정 및 진공장비에 사용됩니다.